節(jié)能降耗 “膜法”應(yīng)用實(shí)現(xiàn)集成電路清洗廢水回收處理

　　集成電路作為電子產(chǎn)品的核心部件，其質(zhì)量的好壞直接決定了整個電子產(chǎn)品的性能和可靠性。在集成電路制造過程中的硅氧化、光刻、外延、擴(kuò)散和引線蒸發(fā)等諸多工序前，硅片表面的污染物和自身氧化物將通過物理或化學(xué)的方法去除，以獲得符合清潔度要求的硅片，但也會因此而產(chǎn)生大量的廢水。

　　清洗廢水中的主要污染物為高濃度懸浮顆粒物、酸堿污染及重金屬離子等。清洗后的廢水水質(zhì)幾乎與進(jìn)水水質(zhì)相同，將其作為廢水排放，會造成資源浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成本。

　　萊特萊德在傳統(tǒng)的水解酸化+接觸氧化的工藝路線上延伸出廢水近零排放工藝。系統(tǒng)采用MBR膜作為預(yù)處理的保安關(guān)卡，確保預(yù)處理出水水質(zhì)的優(yōu)良穩(wěn)定。膜濃縮系統(tǒng)配合催化氧化技術(shù)及ACF吸附模塊，將被濃縮、富集的COD去除到可接受范圍內(nèi)，以確保MVR和膜系統(tǒng)不容易被堵塞，并始終保持高效和穩(wěn)定的運(yùn)行。

　　萊特萊德集成電路清洗廢水回用系統(tǒng)的工藝優(yōu)勢：

　　1、MBR膜池維持高濃度的微生物量，處理裝置容積負(fù)荷高，占地面積小。

　　2、運(yùn)用膜法處理工藝，將生產(chǎn)廢水分類收集、處理，然后再次回用于生產(chǎn)線。

　　3、系統(tǒng)設(shè)置實(shí)時在線監(jiān)測裝置，確保系統(tǒng)能長期穩(wěn)定運(yùn)行。

　　萊特萊德采用膜系統(tǒng)進(jìn)行廢水濃縮減量，可實(shí)現(xiàn)98%的收率。有效去除清洗廢水中銅、釩、鎳、鉻等重金屬，處理效果顯著。不僅可實(shí)現(xiàn)高效、快速清洗，增強(qiáng)清洗半導(dǎo)體晶圓的效果，且可降低水資源的浪費(fèi)。